고효율 미립자 방지기(HEPA)는 원래 고효율 미립자 흡수기라고 불리지만 때로는 고효율 미립자 체포 또는 고효율 미립자 체포라고도 하며 공기 필터의 일종입니다.HEPA 표준을 충족하는 필터는 IC 제조용 클린룸, 의료 시설, 자동차, 항공기 및 주택을 포함하여 다양한 용도로 사용됩니다.필터는 미국 에너지부(DOE)에서 정한 것과 같은 특정 효율성 표준을 충족해야 합니다. 다양한 표준에 따라 HEPA 필터의 자격이 무엇인지 정의됩니다.가장 일반적인 두 가지 표준에서는 공기 필터가 0.3μm 이상의 크기를 갖는 입자의 99.95%(유럽 표준) 또는 99.97%(ASME 표준)[5]을 (통과하는 공기에서) 제거해야 한다고 요구합니다.
